熱場采用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤.保溫罩.上下蓋
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發(fā)布時(shí)間：2022-04-04 11:53:53
一.單晶硅石墨熱場，是一個(gè)及物理.化學(xué).幾何綜合理論為一體，專門研究人員經(jīng)過多年反復(fù)考證。多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)制定。
二.熱場采用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤.保溫罩.上下蓋。采用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器.坩堝.導(dǎo)流筒.托桿.鍋托等，保證了石墨坩堝的強(qiáng)度.及純度。
三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一，熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶，以及拉制單晶的質(zhì)量好壞，其材質(zhì)好壞直接影響熱場壽命。本公司與中國最早生產(chǎn)單晶硅企業(yè)合作十幾年。合作結(jié)合國內(nèi)外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨熱場，成立了自己的石墨熱場本公司的石墨熱場經(jīng)過晶龍集團(tuán).常州天合.河北逐鹿單晶硅生產(chǎn)基地。長期應(yīng)用，對(duì)所用石墨材料及整個(gè)熱場壽命加以肯定。為以后生產(chǎn)特制定如下標(biāo)準(zhǔn)。