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半導體石墨模具選用的材料

作者:http://www.lldnyxpb.cn 發(fā)布時間:2022-04-02 12:04:40

半導體石墨模具選用的材料
一、電子器材燒結(jié)
石墨模具可用在各種類型的可控硅管、三極管和二極管等器材的管心燒結(jié),如果選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時,還選用石墨舟。
二、絕緣子燒結(jié)模具
石墨模適用于電容器絕緣子燒結(jié);厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié);各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié);超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
圖:石墨模具
半導體工業(yè)要求的石墨材料要求特別高的,顆粒度細的石墨具有精度高,且耐高溫、高強度、損耗小等優(yōu)點,比如:燒結(jié)用的石墨模具。由于半導體行業(yè)使用的石墨設備(包括加熱器及其燒結(jié)模具)都是需要承受反復的加熱和冷卻過程,為了達到延長石墨設備的使用壽命,通常要求所使用的石墨材料都具有性能穩(wěn)定和耐熱沖擊功能。為了達到上述的各種要求,我國現(xiàn)在也研發(fā)出了一系列適用于半導體行業(yè)所需要的石墨材料。
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